近日，晟光硅研半導體科技有限公司（以下簡稱“晟光硅研”）在水導激光技術(shù)產(chǎn)業(yè)化方面取得關(guān)鍵進展。該公司總經(jīng)理楊森在接受《經(jīng)濟參考報》記者專訪時介紹，晟光硅研作為中國水導激光技術(shù)的先行者，始終結(jié)合客戶產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)需求，進行水導激光技術(shù)設(shè)備的國產(chǎn)化自主研發(fā)。
資料顯示，晟光硅研成立于2021年，自2023年全國產(chǎn)化設(shè)備定型，累計完成設(shè)備銷售30余臺（套），是中國率先完全實現(xiàn)商用化水導激光技術(shù)設(shè)備的研發(fā)制造企業(yè)，為航空先進復材及半導體材料的高精度、低損傷加工提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。
據(jù)楊森介紹，水導激光技術(shù)作為一種新型激光制造技術(shù)，通過將水和激光耦合加工，利用光的全反射效應，在水射流內(nèi)精確傳導激光，從而實現(xiàn)對材料的精細去除。楊森指出：“與傳統(tǒng)激光加工相比，水導激光減少了熱影響區(qū)，避免了材料微裂紋、熔融殘留等問題，適合對熱敏感和高可靠性要求的航空發(fā)動機相關(guān)零部件制造，其技術(shù)原理的線性激光延展了精密加工的深徑比極限，為設(shè)計端提供了更大的優(yōu)化空間。在半導體領(lǐng)域，該技術(shù)能夠為客戶提供提質(zhì)增效的優(yōu)秀解決方案。”
為輕量化與高強度材料加工提供新路徑
隨著航空航天裝備向輕量化、高性能方向發(fā)展，碳纖維復合材料、陶瓷基復合材料等難加工材料的應用日益廣泛。
楊森表示：“水導激光技術(shù)在航空先進復合材料高精度打孔、異形結(jié)構(gòu)加工等方面具有獨特優(yōu)勢。例如，在航空發(fā)動機渦輪葉片氣膜孔、陶瓷基復材、碳纖維復材的精密加工等場景中，該技術(shù)可實現(xiàn)無機械應力、無分層，避免熱損傷、崩邊、毛刺等缺陷的高質(zhì)量加工，提升結(jié)構(gòu)件壽命及性能。歷經(jīng)三年聯(lián)合客戶深耕材料特性稟賦、細酌工藝參數(shù)優(yōu)化，已經(jīng)為中航工業(yè)整機廠、中國航發(fā)典型發(fā)動機完成數(shù)十款新型零部件的定型，水導激光已成為我國航空先進材料精密制造的新型加工技術(shù)?！?/p>
目前，晟光硅研在航空航天市場開拓領(lǐng)域取得了重要進展，公司研制的水導激光設(shè)備順利通過了整機驗證階段，并成為中國率先正式進入航空整機廠工程實踐階段的水導激光產(chǎn)品。
構(gòu)建跨行業(yè)工藝開發(fā)新生態(tài)
為推動水導激光技術(shù)在多行業(yè)的規(guī)?；瘧?，晟光硅研已建成涵蓋光學設(shè)計、流體控制、運動系統(tǒng)及智能工藝軟件的全鏈條研發(fā)體系，并推出多款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的水導激光加工設(shè)備。公司專利體系布局完善，在審核及已授權(quán)專利120余項。
“我們不僅提供標準化設(shè)備，更注重與客戶共同開發(fā)定制化工藝解決方案?！睏钌硎?。該公司與西安電子科技大學、西安交通大學、西北工業(yè)大學共建產(chǎn)學研合作平臺，聚焦行業(yè)共性難題，開發(fā)并積累了一系列針對400多種不同硬脆材料與結(jié)構(gòu)的成熟加工工藝數(shù)據(jù)庫。
作為高新技術(shù)企業(yè)及省級專精特新企業(yè)，該公司已在水導激光光束質(zhì)量控制、自適應加工系統(tǒng)、大行程五軸、六軸航空專用龍門設(shè)備裝配等領(lǐng)域布局多項核心專利。公司通過研究激光與物質(zhì)作用的微觀成形機制，開展光學設(shè)計研究，攻克了光水耦合等核心技術(shù)，完成水導激光技術(shù)設(shè)備整機研發(fā)、樣機試制、定型及小批量生產(chǎn)，為航空航天、半導體、精密醫(yī)療器械等硬脆材料加工領(lǐng)域提供全新的技術(shù)解決方案。
以創(chuàng)新工藝賦能高端制造自主可控
“水導激光不僅是一項加工技術(shù)，更是未來精密制造產(chǎn)業(yè)鏈的重要革新?！睏钌硎?，“晟光硅研將繼續(xù)深化該技術(shù)在半導體、航空航天等我國重要戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的應用，推動國產(chǎn)高端裝備與工藝的自主化研發(fā)進程，助力中國制造向高精度、高可靠性方向邁進?！?/p>
楊森表示，未來，公司計劃進一步擴大產(chǎn)能，加強國際合作，致力于成為全球水導激光技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的重要推動者，為全球高端制造業(yè)提供中國創(chuàng)新的工藝解決方案。
