1月28日，深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司在上交所科創(chuàng)板上市，股票簡稱“恒運(yùn)昌”，股票代碼“688785”。招股書顯示，公司本次擬公開發(fā)行人民幣普通股1693.0559萬股，發(fā)行價(jià)格為92.18元/股，扣除發(fā)行費(fèi)用后募資凈額為14.14億元。
成立12年來，恒運(yùn)昌專注等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研產(chǎn)銷及技術(shù)服務(wù)，已成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商。
本次上市，公司募資加碼產(chǎn)品研發(fā)、營銷和技術(shù)支持，致力打造核心零部件平臺(tái)，服務(wù)半導(dǎo)體設(shè)備等高端裝備制造業(yè)，以技術(shù)及產(chǎn)品創(chuàng)新引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展。
攻堅(jiān)十年 突破“卡脖子”環(huán)節(jié)
等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化最難關(guān)卡之一，技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長、生產(chǎn)的“精確復(fù)制”要求極高，因而國產(chǎn)化率極低。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，2024年中國大陸半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產(chǎn)化率不足12%。
從創(chuàng)立之初，恒運(yùn)昌就聚焦等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術(shù)攻關(guān)，歷經(jīng)十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，成功打破了美系兩大巨頭長達(dá)數(shù)十年在國內(nèi)的壟斷格局。公司自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品Bestda系列可支撐28納米制程，第三代產(chǎn)品Aspen系列可支撐7—14納米先進(jìn)制程，達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。目前，公司正研制面向更先進(jìn)制程的第四代等離子體射頻電源系統(tǒng)和匹配器，持續(xù)推進(jìn)技術(shù)迭代升級。
憑借先進(jìn)技術(shù)，恒運(yùn)昌已成為半導(dǎo)體“卡脖子”解決方案的領(lǐng)軍企業(yè)。據(jù)介紹，截至2025年6月30日，公司擁有已授權(quán)發(fā)明專利108項(xiàng)，在申請發(fā)明專利133項(xiàng)，擁有國家高新技術(shù)企業(yè)、國家專精特新重點(diǎn)“小巨人”、國家專精特新“小巨人”等資質(zhì)。
近年來，恒運(yùn)昌持續(xù)加大研發(fā)投入。2022年至2024年，公司研發(fā)費(fèi)用分別為2154.21萬元、3696.37萬元、5528.00萬元；2025年上半年，公司研發(fā)費(fèi)用達(dá)4330.84萬元，占營業(yè)收入的比例為14.24%。
募資加碼研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化 夯實(shí)行業(yè)領(lǐng)先地位
本次上市，恒運(yùn)昌擬募資加碼沈陽半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、半導(dǎo)體與真空裝備核心零部件智能化生產(chǎn)運(yùn)營基地項(xiàng)目、研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項(xiàng)目、營銷及技術(shù)支持中心項(xiàng)目，并補(bǔ)充流動(dòng)資金。
據(jù)介紹，本次募投項(xiàng)目聚焦國家和戰(zhàn)略需求，圍繞公司主營業(yè)務(wù)進(jìn)行，對現(xiàn)有產(chǎn)品進(jìn)行提升和拓展。新建全新智能產(chǎn)線及購置新設(shè)備，擴(kuò)大公司產(chǎn)能；通過研發(fā)中心項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)一步提高產(chǎn)品科技含量，提升公司核心競爭力；建設(shè)營銷及技術(shù)支持中心，加強(qiáng)技術(shù)服務(wù)能力，提升公司客戶服務(wù)響應(yīng)速度，增強(qiáng)客戶的依賴性和品牌黏性。
通過建設(shè)募投項(xiàng)目，公司有望進(jìn)一步降低成本，強(qiáng)化技術(shù)研發(fā)投入，加強(qiáng)市場開拓能力，將有利于公司進(jìn)一步擴(kuò)大在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競爭優(yōu)勢，持續(xù)擴(kuò)大經(jīng)營規(guī)模和提升技術(shù)水平，鞏固公司在半導(dǎo)體級等離子體射頻電源系統(tǒng)的領(lǐng)先地位。
公司相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，放眼未來，公司將致力打造核心零部件平臺(tái)，服務(wù)半導(dǎo)體設(shè)備等高端裝備制造業(yè)，建設(shè)成為圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案的平臺(tái)型公司，為半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化貢獻(xiàn)中國“芯”力量。
